Máy làm sạch Wafer

Quy trình làm sạch

Phòng chống ăn mòn thành phần là bắt buộc

Có thể lựa chọn loại vít có khả năng chống hóa chất vượt trội để chịu được môi trường bên trong thiết bị có hóa chất được sử dụng.

Các đặc điểm cần thiết cho các loại vít đặc biệt ：Kháng hóa chất

＊1：Hastelloy là nhãn hiệu đã đăng ký của Haynes International, Inc.
＊2：VESPEL là nhãn hiệu đã đăng ký của DuPont.

Xem tại đây để biết thêm thông tin chi tiết về vít chịu hóa chất ▶

Thiết bị oxy hóa / khuếch tán

Xử lý nhiệt / quá trình oxy hóa / khuếch tán

Cần có khả năng chống chịu với nhiệt độ cao và hóa chất

Đối với môi trường sử dụng nhiều loại khí ở nhiệt độ cao, hãy chọn loại vít có khả năng chịu nhiệt và kháng hóa chất tốt.

Các đặc điểm cần thiết cho các loại vít đặc biệt ：Chịu nhiệt Kháng hóa chất

＊1：Inconel là nhãn hiệu đã đăng ký của Special Metals Corporation.
＊2：Hastelloy là nhãn hiệu đã đăng ký của Haynes International, Inc.
＊3：MAT và MAT21 là nhãn hiệu đã đăng ký của Proterial, Ltd.

Coater / nhà phát triển

Quá trình hình thành màng

Nâng cao năng lực sản xuất là bắt buộc

Sử dụng khớp nối có độ cứng cao để quay tốc độ cao cần thiết để tạo màng cản quang trên tấm wafer.

Các đặc tính cần thiết cho khớp nối ：Độ cứng cao

Phòng chống ăn mòn thành phần là bắt buộc

Có thể lựa chọn loại vít có khả năng chống hóa chất vượt trội để chịu được môi trường bên trong thiết bị có hóa chất được sử dụng.

Các đặc điểm cần thiết cho các loại vít đặc biệt ：Kháng hóa chất

＊1：Inconel là nhãn hiệu đã đăng ký của Special Metals Corporation.

Thiết bị in thạch bản bán dẫn

Quy trình chụp ảnh quang khắc

Cải thiện độ chính xác của thiết bị là bắt buộc

Ngay cả các vít nhỏ được sử dụng tại các khớp nối cũng cho phép cải thiện độ chính xác của độ phơi sáng bằng cách triệt tiêu ảnh hưởng của phản xạ.

Các đặc điểm cần thiết cho các loại vít đặc biệt ：Chống phản chiếu

Vít chống phản xạ Xem tại đây để biết thêm chi tiết ▶

Thiết bị khắc

Quá trình khắc

Cần có khả năng chống chịu với nhiệt độ cao và hóa chất

Đối với môi trường sử dụng nhiều loại khí và dung môi khác nhau ở nhiệt độ cao, hãy chọn loại vít có khả năng chịu nhiệt và kháng hóa chất tốt.

Các đặc điểm cần thiết cho các loại vít đặc biệt ：Chịu nhiệt Kháng hóa chất

＊1：Hastelloy là nhãn hiệu đã đăng ký của Haynes International, Inc.

Vít chịu nhiệt ▶

Vít chống hóa chất ▶

Phải ngăn ngừa hư hỏng động cơ

Các linh kiện có đặc tính cách điện tuyệt vời được yêu cầu như một biện pháp đối phó để ngăn chặn sự đóng điện từ các tụ điện biến đổi chân không.

Các đặc tính cần thiết cho khớp nối ：Đặc tính cách điện

Thiết bị cấy ion

Quá trình cấy ion

Cần cải thiện mức độ chân không

Mức độ chân không có thể được cải thiện hơn nữa bằng cách loại bỏ không khí bị mắc kẹt trong lỗ vít.

Các đặc điểm cần thiết cho các loại vít đặc biệt ：Khoảng chân không

Cần có vít không co giãn ở nhiệt độ cao

Chúng tôi có các vít để ngăn chặn hiện tượng co giãn do nhiệt quay trong môi trường 1000 ° C hoặc cao hơn.

Các đặc điểm cần thiết cho các loại vít đặc biệt ：Chịu nhiệt

Cải thiện độ chính xác của thiết bị là bắt buộc

Các thành phần không có từ tính nên được sử dụng cho ốc vít để ngăn chặn các ion bị lệch do tính chất từ tính của bộ phận.

Các đặc điểm cần thiết cho các loại vít đặc biệt ：Không từ

Thiết bị lắng đọng màng / thiết bị phún xạ

Quá trình hình thành màng

Phải ngăn ngừa hư hỏng động cơ

Các linh kiện có đặc tính cách điện tuyệt vời được yêu cầu như một biện pháp đối phó để ngăn chặn sự đóng điện từ các tụ điện biến đổi chân không.

Các đặc tính cần thiết cho khớp nối ：Đặc tính cách điện

Cần có khả năng chống chịu với nhiệt độ cao và hóa chất

Đối với môi trường sử dụng nhiều loại khí ở nhiệt độ cao, hãy chọn loại vít có khả năng chịu nhiệt và kháng hóa chất tốt.

Các đặc điểm cần thiết cho các loại vít đặc biệt ：Chịu nhiệt Kháng hóa chất

＊1：Hastelloy là nhãn hiệu đã đăng ký của Haynes International, Inc.
＊2：Inconel là nhãn hiệu đã đăng ký của Special Metals Corporation.

Vít chịu nhiệt ▶

Vít chống hóa chất ▶

Cần cải thiện mức độ chân không

Mức độ chân không có thể được cải thiện hơn nữa bằng cách loại bỏ không khí bị mắc kẹt trong lỗ vít.

Các đặc điểm cần thiết cho các loại vít đặc biệt ：Khoảng chân không

Thiết bị kiểm tra vật lý

Quy trình kiểm tra / đánh giá

Cần cải thiện mức độ chân không

Mức độ chân không có thể được cải thiện hơn nữa bằng cách loại bỏ không khí bị mắc kẹt trong lỗ vít.

Các đặc điểm cần thiết cho các loại vít đặc biệt ：Khoảng chân không

Tăng độ chính xác kiểm tra là bắt buộc

Các đặc điểm cần thiết cho các loại vít đặc biệt ：Không có từ

Xem tại đây để biết thêm chi tiết về vít không từ tính ▶

Cần có biện pháp đối phó với tình trạng lỏng vít và nhiễm bẩn

Hiện có sẵn một loạt vít có nắp đầu ổ cắm lục giác không từ tính.
So với ổ cắm có rãnh và ổ cắm lõm chéo, hình dạng nắp đầu ổ cắm lục giác ít có khả năng bị thoát ra ngoài, giúp ngăn ngừa nhiễm bẩn hiệu quả.
Độ bền cao của titan 64 cũng cho phép siết chặt ở mô men xoắn cao hơn, khiến nó trở thành một biện pháp đối phó hiệu quả với tình trạng lỏng lẻo.
Dòng sản phẩm gồm 64 vít có đầu lục giác có ổ cắm bằng đồng titan và đồng photpho chạy từ M2 trở lên.

Hình ảnh
Tên bộ phận	Vít đầu ổ cắm Hex - Hợp kim Titan cường độ cao	Vít đầu ổ cắm Hex - Đồng phốt-pho
Số Phần	SNSTG	SNSP
Vật chất	64 Titanium	C5191 (Đồng phốt pho)
Kích thước chủ đề	M2～M10	M2～M8

Vít thu nhỏ>>

Thiết bị kiểm tra điện

Quy trình kiểm tra / đánh giá

Cải thiện độ chính xác của thiết bị là bắt buộc

Nhận ra mức tăng động cơ servo thậm chí còn lớn hơn, dẫn đến giảm thời gian ổn định.

Các đặc tính cần thiết cho các thành phần truyền động ：Hỗ trợ tăng cao

Cần thiết bị nhỏ gọn hơn

Chúng tôi có các vít có đường kính nhỏ từ M2.6 trở xuống, bao gồm S0.6 trở lên và M1 trở lên.

Các đặc điểm cần thiết cho các loại vít đặc biệt ：Tiết kiệm không gian