Ngày xuất bản: 15 tháng 6 năm 2022 Ngày cập nhật: 19 tháng 12 năm 2023
Số 2: Môi trường chân không
Công nghệ chân không thường được sử dụng trong các thiết bị sản xuất chất bán dẫn.
Không cần thiết phải có chân không cho tất cả các thiết bị. Chân không chủ yếu sẽ được yêu cầu đối với thiết bị sử dụng plasma hoặc chùm tia điện tử.
Buồng chân không là một hộp hoặc phòng đã được chuyển đổi thành môi trường chân không bằng cách sử dụng một máy bơm chân không.
Ở đây, chúng tôi giới thiệu các ví dụ trong đó vít cho thiết bị chân không (sản phẩm đặc biệt) được sử dụng trong môi trường chân không
Không cần thiết phải có chân không cho tất cả các thiết bị. Chân không chủ yếu sẽ được yêu cầu đối với thiết bị sử dụng plasma hoặc chùm tia điện tử.
Buồng chân không là một hộp hoặc phòng đã được chuyển đổi thành môi trường chân không bằng cách sử dụng một máy bơm chân không.
Ở đây, chúng tôi giới thiệu các ví dụ trong đó vít cho thiết bị chân không (sản phẩm đặc biệt) được sử dụng trong môi trường chân không
Tại sao cần có chân không đối với thiết bị sản xuất chất bán dẫn?
・ Để giảm tạp chất và cải thiện chất lượng phản hồi
Thực hiện các quá trình như tạo màng và ăn mòn trong chân không với ít tạp chất cho phép xử lý chất lượng cao hơn.
・ Để hạ nhiệt độ sôi
Việc hạ thấp điểm sôi cho phép xử lý bánh xốp ở nhiệt độ thấp.
Bánh xốp ít bị biến dạng khi kiểm soát sự thay đổi nhiệt độ.
Cuối cùng, không cần thiết bị sản xuất phải được chế tạo hoặc thiết kế để chống lại nhiệt độ cao.
・ Để tạo ra plasma
Áp suất thấp hơn cũng có nghĩa là điện áp dụng có thể thấp hơn.
Chân không cũng cho phép tạo ra plasma trong nhiều loại khí khác nhau.
Thực hiện các quá trình như tạo màng và ăn mòn trong chân không với ít tạp chất cho phép xử lý chất lượng cao hơn.
・ Để hạ nhiệt độ sôi
Việc hạ thấp điểm sôi cho phép xử lý bánh xốp ở nhiệt độ thấp.
Bánh xốp ít bị biến dạng khi kiểm soát sự thay đổi nhiệt độ.
Cuối cùng, không cần thiết bị sản xuất phải được chế tạo hoặc thiết kế để chống lại nhiệt độ cao.
・ Để tạo ra plasma
Áp suất thấp hơn cũng có nghĩa là điện áp dụng có thể thấp hơn.
Chân không cũng cho phép tạo ra plasma trong nhiều loại khí khác nhau.
Các loại máy hút
Thực tế có một số loại máy hút.
・ Chân không thấp: 100 kPa đến 100 Pa
・ Chân không trung bình: 100 Pa đến 0,1 Pa
・ Chân không cao: 0,1 Pa đến 10-⁵ Pa
・ Chân không cực cao: 10-⁵Pa trở xuống
・ Chân không thấp: 100 kPa đến 100 Pa
・ Chân không trung bình: 100 Pa đến 0,1 Pa
・ Chân không cao: 0,1 Pa đến 10-⁵ Pa
・ Chân không cực cao: 10-⁵Pa trở xuống
NBK có một loạt các sản phẩm lý tưởng để sử dụng trong môi trường chân không
Vít ứng dụng chân không
Có sẵn các loại vít và vòng đệm hỗ trợ thoát khí bị kẹt ở đáy lỗ vít hoặc lỗ khoan.Các lỗ thông gió trên vít NBK cho thiết bị chân không được thực hiện bằng phương pháp ít ảnh hưởng đến kết cấu kim loại.
Chúng có thể ngăn chặn gãy giòn trong quá trình sử dụng và tạo ra khí nóng trong môi trường chân không.
< Dòng sản phẩm phong phú > Nhấp vào đây để xem đầy đủ dòng sản phẩm vít cho thiết bị hút chân không của chúng tôi
・Outgas thấp
Đánh bóng bằng hóa chất đặc biệt được sử dụng để cải thiện độ nhám bề mặt. Số lượng Outgas cực kỳ thấp.
Vật chất | SUSXM7 (SUS304 相当) |
Titanium | |||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Tên bộ phận | Ổ cắm đầu vít với lỗ thông gió | Ổ cắm đầu vít Hex với Ống thông hơi - Titanium | Vít đầu ổ cắm Hex với cấu hình thấp đặc biệt (Titanium, có lỗ thông gió) |
Phillips Cross Recessed Flat Head Titan Máy vít (Với lỗ thông gió) |
Phillips Cross Recessed Pan Head Titanium Machine Screws (Với lỗ thông gió) |
Vít có nắp đầu ổ cắm bằng titan Hex có vòng đệm cố định |
Vít có nắp đầu ổ cắm bằng titan Hex có vòng đệm cố định |
Số Phần | SVSS-PC | SVST | SVSHT | SVFT | SVPT | SNSI1T |
SNSI3T |
Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm |
・Vật liệu khác nhau
Có sẵn một loạt các vật liệu, bao gồm Inconel chống ăn mòn cao (tương đương) và Hastelloy (tương đương), và titan không từ tính.
Vật chất | SUS304 ・ SUSXM7 (Tương đương với SUS304) |
SUS316L | ||||
---|---|---|---|---|---|---|
Tên bộ phận | Ổ cắm đầu vít với lỗ thông gió | Bu lông đầu lục giác (Với lỗ thông gió) |
Vít đặt ổ cắm Hex (có lỗ thông gió) |
Ổ cắm đầu vít với lỗ thông gió - SUS316L | Máy giặt Tích hợp Vít đầu ổ cắm Hex với Lỗ thông gió - Thép không gỉ cường độ cao |
Vít đầu ổ cắm Hex với cấu hình thấp đặc biệt (SUS316L, có lỗ thông gió) |
Số Phần | SVSS | SVHS | SVTS | SVSL | SVSQLG | SVSHL |
Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm | Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm |
Vật chất | Inconel Equiv. | Tinh khiết molybden | Hastelloy Equiv. | Nhôm | Titanium | |
---|---|---|---|---|---|---|
Tên bộ phận | Vít đậy đầu ổ cắm Hex (Trang bị Inconel) với Lỗ thông gió | Nắp đầu ổ cắm Molypdenum Hex Vít có lỗ thông gió | Vít bịt đầu ổ cắm Hex (tương đương Hastelloy C-22) với lỗ thông gió | Vít bịt đầu ổ cắm Hex (tương đương Hastelloy C-276) với lỗ thông gió | Vít đầu cắm bằng nhôm Hex có lỗ thông gió | Ổ cắm đầu vít Hex với Ống thông hơi - Titanium |
Số Phần | SVSI | SVSM | SVSH-C22 | SVSH-C276 | SVSA | SVST |
Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm |
Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm |
Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm |
Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm |
Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm |
・Hình dạng khác nhau
Có sẵn một loạt các hình dạng, chẳng hạn như vít nắp cấu hình thấp, sản phẩm tích hợp máy giặt và vít kẹp.
Ví dụ về hình dạng | Vít với cấu hình thấp | Vít với cấu hình thấp đặc biệt | Bài đăng hình lục giác | Ốc vít đinh kẹp | Với máy giặt | Máy rửa |
---|---|---|---|---|---|---|
Tên bộ phận | Ổ cắm đầu vít với lỗ thông gió với cấu hình thấp | Ổ cắm đầu vít với lỗ thông gió với đặc điểm thấp | Các bài viết với lỗ thông gió | Ốc kẹp vít có lỗ thông gió | Máy giặt Tích hợp ổ cắm Hex Vít có lỗ thông gió - Thép không gỉ độ bền cao | Máy giặt có lỗ thông gió |
Số Phần | SVLS | SVSHS | SHVAS | SCSS-VR | SVSQLG | SWAS-VF |
Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm |
Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm |
Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm |
Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm |
Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm |
Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm |
・Phòng ngừa nắm bắt
Sản phẩm của chúng tôi là sản phẩm lý tưởng để ngăn chặn việc bắt giữ.
Vật chất | SUS316L | SUSXM7 (tương đương với SUS304) | SUSXM7 (tương đương với SUS304) |
---|---|---|---|
Tên bộ phận | Vít đầu ổ cắm có lỗ thông gió (có lỗ thông gió/xử lý làm cứng bề mặt) |
Vít đầu nắp ổ cắm có lỗ thông gió - MoS2 Shot | Nắp đầu ổ cắm Vít có lỗ thông gió / Mạ bạc |
Số Phần | SVSL-PN | SVSS-MOS | SVSS-AG |
Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm |
Nhấp vào đây để xem đầy đủ các loại vít dành cho thiết bị chân không của chúng tôi
Sản phẩm outgas thấp
Ngoài vít cho thiết bị chân không, chúng tôi cũng có một loạt vít và khớp nối thấp.・Vít
Số Phần | SPD-C | SPDC-H | SPE-C |
---|---|---|---|
Vật chất | VESPEL® SP-1 | VESPEL® SCP-5000 | PEEK |
Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm |
・Khớp nối
Có thể sử dụng các khớp nối có thể sử dụng trong các môi trường đặc biệt như phòng sạch, chân không, nhiệt độ cao (80 ° C hoặc cao hơn).
Kiểu | Khe co giãn | Oldham Coupling | Khớp nối đĩa | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Hình dạng | |||||||
Số Phần | XSTS | XWSS | MSXP | MOHS | CHỔI LAU NHÀ | XBWS* | XBSS* |
Vật chất | SUS316L | SUS316L | PEEK | SUS303 Vespel ** SUSXM7 |
A2017 PEEK SUSXM7 |
SUS303 SUSXM7 |
SUS303 SUSXM7 |
Phương pháp lau dọn | Làm sạch siêu âm | Làm sạch siêu âm | Làm sạch siêu âm | Làm sạch siêu âm | Làm sạch siêu âm | Làm sạch bằng siêu âm * | Làm sạch bằng siêu âm * |
Hạt thấp | ◎ | ◎ | ◎ | △ | △ | ○ | ○ |
Hỗ trợ chân không | ○ | ○ | ○ | ◎ | ◎ | ○ | ○ |
Ít outgas | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
Chống nóng | ○ | ○ | ○ | ◎ | ◎ | ○ | ○ |
Chống hóa chất | ◎ | ◎ | ◎ | ○ | ○ | ○ | ○ |
Zero Backlash | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ||
Mô-men xoắn cao | ○ | ○ | ○ | ○ | |||
Độ cứng xoắn cao | ◎ | ◎ | |||||
Cho phép Sai lệch | ○ | ○ | ◎ | ◎ | ○ | ○ |
◎ : Tuyệt vời ○: Rất tốt △: Bột mài mòn có thể được sản xuất
* XBWS XBSS là sản phẩm chưa được tẩy rửa. Giặt sạch và đóng gói sạch sẽ theo yêu cầu.
** VESPEL là nhãn hiệu đã đăng ký của công ty DuPont của Hoa Kỳ.
Phòng sạch "Dịch vụ rửa / đóng gói phòng sạch"
Có thể thực hiện giặt phòng sạch và đóng gói phòng sạch để các vật dụng có thể được sử dụng trực tiếp trong buồng chân không hoặc phòng sạch.Các ví dụ về giải pháp vấn đề bằng quy trình sản xuất chất bán dẫn
Các ví dụ giải quyết vấn đề được giới thiệu bởi quy trình sản xuất chất bán dẫn.Xử lý trước tại đây
Quá trình hậu kỳ tại đây
Số trở lại của "Công nghiệp bán dẫn và NBK"
Liệt kê ở đây
Giơi thiệu sản phẩm
Cải thiện năng suất / khả năng làm việc
Các biện pháp an toàn / biện pháp phòng ngừa
Công cụ máy móc
Thiết bị sản xuất chất bán dẫn
Máy móc thực phẩm
Quy trình sản xuất ô tô
Thiết bị y tế
Thiết bị FA
Công nghiệp bán dẫn và NBK
Vít đặc biệt
Các yếu tố máy