logo NBK

Ngày xuất bản: 15 tháng 6 năm 2022 Ngày cập nhật: 19 tháng 12 năm 2023

Số 2: Môi trường chân không

Công nghệ chân không thường được sử dụng trong các thiết bị sản xuất chất bán dẫn.
Không cần thiết phải có chân không cho tất cả các thiết bị. Chân không chủ yếu sẽ được yêu cầu đối với thiết bị sử dụng plasma hoặc chùm tia điện tử.
Buồng chân không là một hộp hoặc phòng đã được chuyển đổi thành môi trường chân không bằng cách sử dụng một máy bơm chân không.

Ở đây, chúng tôi giới thiệu các ví dụ trong đó vít cho thiết bị chân không (sản phẩm đặc biệt) được sử dụng trong môi trường chân không

Tại sao cần có chân không đối với thiết bị sản xuất chất bán dẫn?

・ Để giảm tạp chất và cải thiện chất lượng phản hồi
Thực hiện các quá trình như tạo màng và ăn mòn trong chân không với ít tạp chất cho phép xử lý chất lượng cao hơn.

・ Để hạ nhiệt độ sôi
Việc hạ thấp điểm sôi cho phép xử lý bánh xốp ở nhiệt độ thấp.
Bánh xốp ít bị biến dạng khi kiểm soát sự thay đổi nhiệt độ.
Cuối cùng, không cần thiết bị sản xuất phải được chế tạo hoặc thiết kế để chống lại nhiệt độ cao.

・ Để tạo ra plasma
Áp suất thấp hơn cũng có nghĩa là điện áp dụng có thể thấp hơn.
Chân không cũng cho phép tạo ra plasma trong nhiều loại khí khác nhau.

Các loại máy hút

Thực tế có một số loại máy hút.
・ Chân không thấp: 100 kPa đến 100 Pa
・ Chân không trung bình: 100 Pa đến 0,1 Pa
・ Chân không cao: 0,1 Pa đến 10-⁵ Pa
・ Chân không cực cao: 10-⁵Pa trở xuống

NBK có một loạt các sản phẩm lý tưởng để sử dụng trong môi trường chân không


Vít ứng dụng chân không

Có sẵn các loại vít và vòng đệm hỗ trợ thoát khí bị kẹt ở đáy lỗ vít hoặc lỗ khoan.

Các lỗ thông gió trên vít NBK cho thiết bị chân không được thực hiện bằng phương pháp ít ảnh hưởng đến kết cấu kim loại.
Chúng có thể ngăn chặn gãy giòn trong quá trình sử dụng và tạo ra khí nóng trong môi trường chân không.

< Dòng sản phẩm phong phú > Nhấp vào đây để xem đầy đủ dòng sản phẩm vít cho thiết bị hút chân không của chúng tôi
Outgas thấp
Đánh bóng bằng hóa chất đặc biệt được sử dụng để cải thiện độ nhám bề mặt. Số lượng Outgas cực kỳ thấp.
 
 
Vật chất SUSXM7
(SUS304 相当)
Titanium
Tên bộ phận Ổ cắm đầu vít với lỗ thông gió Ổ cắm đầu vít Hex với Ống thông hơi - Titanium Vít đầu ổ cắm Hex với cấu hình thấp đặc biệt
(Titanium, có lỗ thông gió)
Phillips Cross Recessed Flat Head Titan Máy vít
(Với lỗ thông gió)
Phillips Cross Recessed Pan Head Titanium Machine Screws
(Với lỗ thông gió)
Vít có nắp đầu ổ cắm bằng titan Hex có vòng đệm cố định
Vít có nắp đầu ổ cắm bằng titan Hex có vòng đệm cố định
Số Phần SVSS-PC SVST SVSHT SVFT SVPT SNSI1T
SNSI3T
  Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm

Vật liệu khác nhau
Có sẵn một loạt các vật liệu, bao gồm Inconel chống ăn mòn cao (tương đương) và Hastelloy (tương đương), và titan không từ tính.

 
Vật chất SUS304 ・ SUSXM7
(Tương đương với SUS304)
SUS316L
Tên bộ phận Ổ cắm đầu vít với lỗ thông gió Bu lông đầu lục giác
(Với lỗ thông gió)
Vít đặt ổ cắm Hex
(có lỗ thông gió)
Ổ cắm đầu vít với lỗ thông gió - SUS316L Máy giặt Tích hợp Vít đầu ổ cắm Hex với
Lỗ thông gió - Thép không gỉ cường độ cao
Vít đầu ổ cắm Hex với cấu hình thấp đặc biệt
(SUS316L, có lỗ thông gió)
Số Phần SVSS SVHS SVTS SVSL SVSQLG SVSHL

Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm

 

 
Vật chất Inconel Equiv. Tinh khiết molybden Hastelloy Equiv. Nhôm Titanium
Tên bộ phận Vít đậy đầu ổ cắm Hex (Trang bị Inconel) với Lỗ thông gió Nắp đầu ổ cắm Molypdenum Hex Vít có lỗ thông gió Vít bịt đầu ổ cắm Hex (tương đương Hastelloy C-22) với lỗ thông gió Vít bịt đầu ổ cắm Hex (tương đương Hastelloy C-276) với lỗ thông gió Vít đầu cắm bằng nhôm Hex có lỗ thông gió Ổ cắm đầu vít Hex với Ống thông hơi - Titanium
Số Phần SVSI SVSM SVSH-C22 SVSH-C276 SVSA SVST
  Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm
Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm
Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm
Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm
Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm

Hình dạng khác nhau
Có sẵn một loạt các hình dạng, chẳng hạn như vít nắp cấu hình thấp, sản phẩm tích hợp máy giặt và vít kẹp.
   
Ví dụ về hình dạng Vít với cấu hình thấp Vít với cấu hình thấp đặc biệt Bài đăng hình lục giác Ốc vít đinh kẹp Với máy giặt Máy rửa
Tên bộ phận Ổ cắm đầu vít với lỗ thông gió với cấu hình thấp Ổ cắm đầu vít với lỗ thông gió với đặc điểm thấp Các bài viết với lỗ thông gió Ốc kẹp vít có lỗ thông gió Máy giặt Tích hợp ổ cắm Hex Vít có lỗ thông gió - Thép không gỉ độ bền cao Máy giặt có lỗ thông gió
Số Phần SVLS SVSHS SHVAS SCSS-VR SVSQLG SWAS-VF
  Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm
Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm
Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm
Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm
Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm

Phòng ngừa nắm bắt
Sản phẩm của chúng tôi là sản phẩm lý tưởng để ngăn chặn việc bắt giữ.

 
Vật chất SUS316L SUSXM7 (tương đương với SUS304) SUSXM7 (tương đương với SUS304)
Tên bộ phận Vít đầu ổ cắm có lỗ thông gió
(có lỗ thông gió/xử lý làm cứng bề mặt)
Vít đầu nắp ổ cắm có lỗ thông gió - MoS2 Shot Nắp đầu ổ cắm Vít có lỗ thông gió / Mạ bạc
Số Phần SVSL-PN SVSS-MOS SVSS-AG

Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm
Nhấn vào đây để đọc thêm về việc thu giữ

Nhấp vào đây để xem đầy đủ các loại vít dành cho thiết bị chân không của chúng tôi

Sản phẩm outgas thấp

Ngoài vít cho thiết bị chân không, chúng tôi cũng có một loạt vít và khớp nối thấp.
Vít
 
Số Phần SPD-C SPDC-H SPE-C
Vật chất VESPEL® SP-1 VESPEL® SCP-5000 PEEK
  Nhấp vào đây để xem dòng sản phẩm

 

Khớp nối

Có thể sử dụng các khớp nối có thể sử dụng trong các môi trường đặc biệt như phòng sạch, chân không, nhiệt độ cao (80 ° C hoặc cao hơn).

Kiểu Khe co giãn Oldham Coupling Khớp nối đĩa
Hình dạng (SUS316L) - ク ラ ン ピ ン グ タ イ (SUS316L) - ク ラ ピ ン 真空 真空 真空 プ プ プ (SUS316L) - ク ラ ン ピ ン グ タ イ (SUS316L) - ク ラ ピ ン 真空 真空 真空 プ プ プ (PEEK) - ク ラ ン ピ ン グ タ イ 真空 プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ ク リ ー ン · 真空 · 耐熱 対 応 応 カ ッ グ - オ ル ダ ム ム タ イ プ (PEEK) - ク ラ ン ピ ン グ タ イ 真空 プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ フ レ キ キ ブ ブ ル - デ ィ ッ プ リ ン グ - デ ィ ス ク プ タ イ プ - ク ラ ン ピ ン グ タ イ プ フ レ キ キ ブ ブ ル ル グ - シ レ ル ル ル グ グ グ グ グ グ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ プ
Số Phần XSTS XWSS MSXP MOHS CHỔI LAU NHÀ XBWS* XBSS*
Vật chất SUS316L SUS316L PEEK SUS303
Vespel **
SUSXM7
A2017
PEEK
SUSXM7
SUS303
SUSXM7
SUS303
SUSXM7
Phương pháp lau dọn Làm sạch siêu âm Làm sạch siêu âm Làm sạch siêu âm Làm sạch siêu âm Làm sạch siêu âm Làm sạch bằng siêu âm * Làm sạch bằng siêu âm *
Hạt thấp
Hỗ trợ chân không
Ít outgas
Chống nóng
Chống hóa chất
Zero Backlash    
Mô-men xoắn cao      
Độ cứng xoắn cao          
Cho phép Sai lệch  

: Tuyệt vời ○: Rất tốt △: Bột mài mòn có thể được sản xuất
XBWS XBSS là sản phẩm chưa được tẩy rửa. Giặt sạch và đóng gói sạch sẽ theo yêu cầu.
** VESPEL là nhãn hiệu đã đăng ký của công ty DuPont của Hoa Kỳ.

Bấm vào đây để biết chi tiết

Phòng sạch "Dịch vụ rửa / đóng gói phòng sạch"

Có thể thực hiện giặt phòng sạch và đóng gói phòng sạch để các vật dụng có thể được sử dụng trực tiếp trong buồng chân không hoặc phòng sạch.

Các ví dụ về giải pháp vấn đề bằng quy trình sản xuất chất bán dẫn

Các ví dụ giải quyết vấn đề được giới thiệu bởi quy trình sản xuất chất bán dẫn.
Xử lý trước tại đây
Quá trình hậu kỳ tại đây

Số trở lại của "Công nghiệp bán dẫn và NBK"

Liệt kê ở đây

Giơi thiệu sản phẩm Cải thiện năng suất / khả năng làm việc Các biện pháp an toàn / biện pháp phòng ngừa Công cụ máy móc Thiết bị sản xuất chất bán dẫn Máy móc thực phẩm Quy trình sản xuất ô tô Thiết bị y tế Thiết bị FA Công nghiệp bán dẫn và NBK Vít đặc biệt Các yếu tố máy